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1、半导体器件。集成电路。第20部分:薄膜集成电路及混合薄膜集成电路的总规范。
2、薄膜集成电路用氧化铝陶瓷基片
3、集成电路有厚膜集成电路和薄膜集成电路。
【词语名称】: 薄膜集成电路
【词语拼音】: báo mó jí chéng diàn lù
【词语意思】: 集成电路之一。采用薄膜工艺在玻璃或陶瓷基片上制作电路元、器件及其接线,并加以封装而成。薄膜工艺包括蒸发、溅射、化学气相淀积等。特点为电阻、电容数值控制较精确,且数值范围宽,但集成度不高。主要用于线性电路。